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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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2025年電解鋁行業形勢分析
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化學氣相沉積過程中反應氣氛的監控系統及方法

1136 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:55:34

本發明公開了一種化學氣相沉積過程中反應氣氛的監控系統，包括化學氣相沉積爐，化學氣相沉積爐具有反應室，反應室頂部與真空管道連接、底部與Zn原料坩堝連接，真空管道通過采樣泵與樣品室連接，樣品室還與稀釋管道、真空泵以及氣體分析儀連接，真空泵一端還與真空管道連接，氣體分析儀、采樣泵、真空泵均與控制器連接，控制器與計算機連接；還公開一種監控方法，通過檢測反應殘余氣體中H2S或H2Se的濃度，進而改變通入Zn坩堝原料載氣的流量。本發明能夠保證長時間沉積生產過程中反應空間內原料配比的一致性，且安全可靠，從而生產出高質量的光學材料。

登錄解鎖全文

聲明：

“化學氣相沉積過程中反應氣氛的監控系統及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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