等離子體化學氣相法批量生產氮化硅粉體轉相工藝及系統,該系統是在等離子體化學氣相法生產無定型氮化硅粉體工藝的基礎上增加一個連續轉相熱處理裝置,所述裝置主要由推料器、前密封箱、中溫爐、高溫爐、冷卻帶以及后密封箱組成,在該裝置內裝有可連續運動的多個盛粉容器,并以氨或氨與氮的混合氣為保護氣氛。采用本發明可連續、批量生產高α相氮化硅粉體;α相:95.5~97.5%;粒度分布特性:平均粒度D50=0.18μm~0.35μm,轉相后產品中的氧含量小于0.2%,殘留氯含量采用熒光X射線方法分析已經檢測不到,從而有效提高了氮化硅粉體性能。
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