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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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化學氣相沉積反應腔裝置及具有其的化學氣相沉積設備

793 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:55:29

本發明提出一種化學氣相沉積反應腔裝置，包括：腔室本體，腔室本體內限定有反應腔室；上陪片，上陪片固定在反應腔室內，且上陪片設有至少一個檢測通孔；托盤，托盤位于上陪片之下；旋轉機構，旋轉機構與托盤相連，且旋轉機構用于驅動托盤旋轉；和檢測儀，檢測儀設在腔室本體外且與上陪片的至少一個檢測通孔對應。本發明還提出一種化學氣相沉積設備。根據本發明的化學氣相沉積反應腔裝置能夠降低檢測儀的檢測難度，提高檢測精度。應用本發明的化學氣相沉積設備使溫度和成膜厚度檢測更為精確，且節省檢測時間。另外，本發明實現簡單，成本低。

登錄解鎖全文

聲明：

“化學氣相沉積反應腔裝置及具有其的化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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