本發明涉及用于分析氣體的方法,其中所述方法具有提供步驟、測量步驟和確定步驟。在提供步驟中氣體傳感器被提供。所述氣體傳感器具有半導體襯底和第一薄層離子導體,所述半導體襯底具有電路。第一薄層離子導體將用于參考氣體的參考空間與用于氣體的測量空間分開。第一薄層離子導體具有參考電極和測量電極。參考電極朝向參考空間。測量電極朝向測量空間。參考電極和測量電極與所述電路連接。在測量步驟中測量空間中的氣體的化學種類的濃度被測量。在此在參考電極和測量電極之間的電壓被量取,以便測量所述濃度。在確定步驟中氣體中的化學種類的分壓力被確定。在此,所述電壓在電路中在使用所存放的處理規則的情況下被處理,以便確定分壓力。
聲明:
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