描述了一種用來探測薄膜清除工藝的終點的方法和裝置,其中用具有連接到軸的拋光表面的拋光裝置來清除薄膜。探測了由拋光表面上的摩擦力引起的扭矩導致的軸的變形。用安裝在軸上的傳感器,或借助于監測從軸上二個點反射的光信號之間的相位差,來執行此探測。根據軸的變形而產生信號。信號的變化表明扭矩的變化,從而表明薄膜清除工藝的終點。此裝置允許實時原位監測和控制薄膜清除工藝。
聲明:
“測量軸的變形對化學機械拋光工藝進行實時控制” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)