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            化學機械拋光的在線監測裝置

            1005   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 06:49:13
            本發明公開了一種化學機械拋光的在線監測裝置,設于拋光盤內,可隨拋光盤轉動;其包括光源;光學鏡組,用于接收光源發出的光束,產生準直光束;光路轉折單元,用于接收準直光束,將其形成入射光路,入射光路透過拋光盤的通光窗口,照射至拋光盤上的晶圓表面,晶圓表面將入射光路反射后經過光路轉折單元形成出射光路;探測器,用于接收出射光路,以獲取對應的光譜信息,確定晶圓拋光的終點。本發明采用光學鏡組縮束準直的方式耦合光源,解決了傳統光纖耦合導致的光源光強利用率低的問題;采用信號控制方式調節光源并實時監測光強,保證測量信號的穩定性,提升探測精度,延長光源的使用壽命。
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            “化學機械拋光的在線監測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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            化學分析
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