本發明涉及電化學測定用室。電化學測定用室是用于利用透過了觀察窗的電子束進行測定的電化學測定用室,其特征在于,將觀察用MEMS芯片與密封用MEMS芯片間隔地配置,該觀察用MEMS芯片具有包含電子透過性的薄膜和基板的層疊體,在薄膜上設置了工作電極和對電極,該密封用MEMS芯片是包含電子透過性的薄膜和基板的層疊體,在兩者層疊體中的一部分區域中不存在基板,在上述區域中形成包含薄膜的觀察窗,工作電極與兩者層疊體中的觀察窗重疊,并且在觀察窗上沿著電子束透過的方向具有多個貫通孔。
聲明:
“電化學測定用室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)