化學感測裝置包括半導體材料的襯底(1)、形成在襯底(1)中的集成電路組件(2)和光電檢測器(3)、襯底(1)上的電介質(4)、在電解質內的布線(5)和電磁輻射源(6)、布置在電介質中或上方的波導(9)和熒光傳感器層(14)。波導的一部分被布置為使得由電磁輻射源發射的電磁輻射耦合到波導中。波導的另一部分被布置在光電檢測器和熒光傳感器層之間。
聲明:
“使用熒光傳感材料的化學感測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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