本發明涉及一種化學氣相沉積裝置及方法,尤其是涉及一種能夠實時測量并控制多孔碳預制體增重率和增重速率的化學氣相沉積裝置及方法,適合于碳/碳復合材料或者碳/碳化硅復合材料在化學氣相沉積過程的增重率和增重速率的檢測,并可對沉積或滲透過程進行控制。其特征在于包括一套化學氣相沉積爐、一套電子地中衡和一套工控機所構成的系統。本發明的優點在于:(1)能夠實時測量增重率和增重速率;(2)能夠自動識別沉積是否完成;(3)節約時間提高效率;(4)優化化學氣相沉積工藝參數;(5)依據沉積速率的變化自動識別判斷沉積過程發生的化學反應特征,并對供水、供氣、供電、升降溫程序等進行相應調整,達到智能控制。
聲明:
“實時測量并控制增重速率的化學氣相沉積裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)