本發明公開了一種高密度等離子體化學氣相淀積設備的腔體檢漏方法,在生產工藝步驟中增加腔體檢漏工藝,腔體檢漏工藝自動執行并實時報警;當腔體檢漏工藝得到的測量結果超標時,高密度等離子體化學氣相淀積設備發出警報并使生產工藝步驟停止執行;當腔體檢漏工藝得到的測量結果正常時,生產工藝步驟繼續執行。本發明能降低檢漏的時間、提高設備的產能,能夠使檢漏的實施達到可控并能通過自動的規格管理來有效避免產品事故的發生,使產品的質量得到保證。
聲明:
“高密度等離子體化學氣相淀積設備的腔體檢漏方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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