本發明提供一種實時偵測系統,用于實時偵測研磨墊溝槽狀況以管控研磨墊壽命,所述實時偵測系統包括圖像采集模塊、數據處理模塊和界面管理模塊。本發明還提供一種實時偵測方法,包括:實時采集所述研磨墊溝槽的圖像;對所述圖像進行實時分析,確認所述研磨墊是否到達壽命,實時輸出分析結果。本發明還提供一種包括所述實時偵測系統的化學機械拋光設備。通過圖像采集模塊采集圖像信息,并通過數據處理模塊對圖像進行分析處理,實時得出研磨墊是否達到壽命的結果,最后通過界面管理模塊進行系統控制和狀態顯示,使得研磨墊壽命管控變得及時、可靠,同時減少了人力,解決了現有技術中研磨墊壽命管控缺乏即時性和可靠性且浪費人力的問題。
聲明:
“實時偵測系統、實時偵測方法及化學機械拋光設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)