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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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熱門報告

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化學機械拋光終點偵測裝置及方法

1161 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:45:15

本發明提供一種化學機械拋光終點偵測裝置及方法，該終點偵測裝置至少包括：用于探測晶圓研磨表面溫度變化的紅外探測器，其中，所述晶圓至少包括基底層和位于基底層上的待拋光層，所述待拋光層與基底層具有不同的導熱系數；與所述紅外探測器電連接的數據處理分析系統，處理分析紅外探測器輸出溫度的變化，獲得一溫度梯度隨時間變化的曲線，根據該曲線判斷晶圓拋光終點。本發明提供的化學機械拋光終點偵測裝置通過數據處理分析系統處理紅外探測器輸出的溫度信息后，獲得晶圓拋光表面的溫度梯度隨時間的變化曲線，這樣可方便的從獲得的曲線中判斷出化學機械拋光的終點。

登錄解鎖全文

聲明：

“化學機械拋光終點偵測裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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