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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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集成電路器件的化學機械拋光的終點檢測方法

678 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:45:15

本發明公開了一種制造集成電路器件的方法。該方法使包括研漿和分散劑液體在內的旋轉拋光墊緊靠包括第一材料的基本不平的層。所述第一材料覆蓋在第二材料上。所述第二材料具有一個或多個基本平坦的區域。當去除所述基本不平的層的部分時,所述方法對旋轉拋光墊的驅動電流進行監視,直到所述基本不平的層的形狀變得基本平坦時,摩擦力使所述電流增加為止。當旋轉拋光墊繼續去除所述第一材料的部分時,所述方法減少分散劑液體的量。此外,所述方法對所述增加后的驅動電流的減小進行監視,當所述電流的減小速率大于1安培每秒時,就表示到達了終點,在該終點,已暴露出所述第二材料的一個或多個部分。

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聲明：

“集成電路器件的化學機械拋光的終點檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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