本發明公開了一種動態檢測裝置,包括:發射單元;反饋單元,用于接收發射單元發出的光束;發射單元和反饋單元分別設于晶圓傳輸手或晶圓清洗模組;發射單元和反饋單元分別位于晶圓的兩側,當晶圓傳輸手上夾持有晶圓時,該晶圓可阻擋光束;發射單元或反饋單元隨著晶圓傳輸手移動,可與晶圓清洗模組的任一反饋單元或發射單元配合,用于檢測兩者之間的光路內是否有晶圓,以判斷晶圓傳輸手上是否夾持有晶圓。本發明還公開了一種化學機械平坦化設備。本發明可以實時檢測每個或任意一個晶圓傳輸手上是否夾持有晶圓;晶圓傳輸手的移動通道不會被阻隔,移動更加靈活;實現了動態檢測,可選擇性地與任意晶圓清洗模組配合進行檢測。
聲明:
“動態檢測裝置及化學機械平坦化設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)