本發明提出了一種化學機械平坦化終點檢測方法及裝置,方法包括以下步驟:根據設定的平坦化工藝參數將平坦化材料在第一拋光臺上進行平坦化,將采集到的反射光信號進行數據圖形化處理得到第一表面圖形及第二表面圖形;在所述第一表面圖形符合第一特征圖形的情況下,根據第一特征圖形在相應的區域內對所述平坦化材料施加背壓力進行平坦化;在第二表面圖形符合第三特征圖形的情況下,根據第三特征圖形在相應的區域內對平坦化材料施加背壓力進行平坦化。本發明提高了平坦化材料的全局平坦化效果,保證了平坦化材料平坦化的加工質量,提高化學機械平坦化設備的一次加工合格率,大大降低了化學機械平坦化終點檢測工藝開發的成本。
聲明:
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