提供一種化學成分檢測微納光學傳感器及其制作與測量方法,包括硅基片,硅基片設置有光源、檢測腔、光接收器,硅基片在光源與檢測腔之間開設第一溝槽,在檢測腔與光接收器之間開設第二溝槽,第一溝槽、第二溝槽內充滿經液體灌注,固化后用作使光線定向傳輸的光波導材料,固化后的光波導材料在檢測腔的兩側分別形成呈凸起圓弧形的聚光壁,從光源依次經第一溝槽內的光波導材料、檢測腔、第二溝槽內的光波導材料至光接收器形成光通路;光源所發出光的波長正是只有所要檢測的化學成分所能吸收的光的波長,光接收器是能接收的光并能轉換成電參數值的光接收器;使用前先進行標定,獲得標定關系后,就可以在現場測量。
聲明:
“化學成份檢測微納光學傳感器及其制作與檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)