本發明屬于光電子技術領域,涉及一種對光柵-光波導結構光譜儀的改進,尤其是涉及對光譜儀中集成光路組件的改進。本發明由光源、聚焦透鏡、光譜信號處理系統、硅基片、樣品窗口、光波導薄膜、棱鏡和光波導襯底組成,本發明用棱鏡-光波導結構取代光柵-光波導結構,提高了耦合效率和色散能力;造價低、應用范圍大;雜散光干擾少,光譜分辨率高。本發明是一種小型化、集成化、便于攜帶和高靈敏度的光譜儀。
聲明:
“用于化學分析的新型集成光路結構光譜儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)