本發明屬于傳感器技術領域,具體為一種用于電化學檢測的微電極陣列芯片傳感器。本發明使用硅基材料進行制造,芯片集成了電化學檢測的工作電極、輔助電極和參比電極,具有很好的信噪比。輔助電極和工作電極構成環盤結構,輔助電極與工作電極間的距離小,提高了電極的靈敏度。多個工作電極成陣列分布,可以用于多通道檢測。本發明可以廣泛用于生物醫藥等多領域的檢測。本發明采用MEMS工藝進行制造,工藝簡單,成本低。
聲明:
“用于電化學免疫檢測的微電極陳列芯片傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)