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            > 光刻機投影物鏡像方視場的在線測量裝置

            光刻機投影物鏡像方視場的在線測量裝置

            1163   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 06:29:28
            本實用新型提供一種光刻機投影物鏡像方視場的在線測量裝置,屬于投影光刻性能檢測領域,旨在解決現有技術中由于投影物鏡像方視場較大、沒有足夠大尺寸的探測器直接在線測量的技術問題,其中,所述在線測量裝置包括探測器、掩模板、掩模臺和工件臺,所述掩模板的中心具有長方形孔,在線測量時,光束將掩模板的長方形孔經所述投影物鏡成像到像面處,所述探測器探測所述像面處的成像,所述在線測量裝置基于掩模板標記成像的方式,解決了現有技術中存在的投影物鏡像方視場較大、沒有足夠大尺寸的探測器進行直接測量的問題,實現了投影物鏡集成后像方視場的在線測試,且測量速度快、易于推廣應用。
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            “光刻機投影物鏡像方視場的在線測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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