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            一種Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學參數檢測方法

            1005   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 06:28:25
            本發明涉及一種Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學參數檢測方法,該緩沖層鍍膜為SiCxOy,0<x<1,1<y<4,屬于鍍膜玻璃檢測領域。該方法是在獲得SiCxOy緩沖層鍍膜玻璃橢圓偏振光譜的基礎之上,引入三層膜層結構以及光學色散方程,通過迭代來回歸實測橢偏光譜,最終獲得SiCxOy鍍膜玻璃的膜層結構及其每一層的光學參數,利用該方法實現鍍膜玻璃光學性能的在線監控。本發明僅采用橢偏光學測試手段便可準確地獲得薄膜的膜層結構及光學參數,對樣品無損傷、測量耗時少、測試方法簡便、對被測樣品表面無特殊要求,十分適合于SiCxOy節能鍍膜玻璃的性能檢測及監控。
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            “一種Si基緩沖層鍍膜玻璃的光學參數檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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