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一種用于光刻機調焦系統性能評價的裝置及方法

919 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:26:12

一種用于光刻機調焦系統性能評價的裝置和方法,其特點是:裝置的運動系統將粗動系統和精動系統分開設計,在滿足水平X向和垂向大行程運動及垂向高精度定位的同時保證了裝置拆裝靈活性和擴展性,保證控制精度的同時減少控制的復雜程度,實現了垂向大行程高精度的精密運動控制,保證了被評價調焦系統的測量光斑可以在硅片上的任意位置,實現了檢測靈活性,對調焦系統性能評價方法和流程簡便,可在精動系統一個行程內將調焦的重復性和精度全部驗證完畢,節省時間,代碼實現簡便,同時整套裝置亦可用于其他系統垂向性能檢測和評價。

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