本發明涉及激光檢測與材料性能檢測技術領域,其利用連續加載的長脈沖激光準靜態加載涂層或薄膜試件表面,利用激光的熱作用對薄膜表面薄層(僅幾十nm厚)的加熱,以及隨后的熱量熱傳導,在試件中形成溫度場,由于薄膜-基體材料的熱膨脹系數和溫度的差異,當涂層中形成的熱應力達到一定值時,材料產生脫粘,進一步發生材料翹曲和剝落,同時,進給系統使試件作進給運動,從而在涂層表面形成劃痕。用薄膜-基體界面處剝落所對應的激光能量可表征界面結合強度,用理論分析和數值計算可得薄膜-基體界面的結合強度。適用于各種硬質工具膜、裝飾膜系、裝飾功能膜、DLC薄膜、復合材料以及其它類型的界面結合強度的測定。
聲明:
“界面結合強度的準靜態激光劃痕測量方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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