本實用新型公開了微蝕液循環再生系統。本實用新型包括調整失效微蝕液H2O2含量的調整系統、銅回收系統和自動添加系統,調整系統設有與微蝕槽相連的管路,調整系統通過管路與銅回收系統相連接,銅回收系統通過管路與自動添加系統相連接,自動添加系統設有與微蝕槽相連的管路。整個系統是封閉循環運行,無需外排廢液,不會對環境造成危害;只需要添加消耗的添加劑就能不斷的再生合格的微蝕液,保證了微蝕刻的穩定性和一致性,有效地降低了微蝕刻的成本,保證了微蝕刻的質量。與此同時,通過銅回收系統還能獲得高價值的副產品金屬銅,進一步降低了處理成本。
聲明:
“微蝕液循環再生系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)