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            > 用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置

            用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置

            1032   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 05:58:44
            提供一種用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置,包括廢液儲罐、高低沸處理精餾塔、脫輕精餾塔、四氯化硅提純塔、混合器以及反歧化裝置,廢液儲罐通過廢液輸送泵與高低沸處理精餾塔連接,高低沸處理精餾塔塔頂與脫輕精餾塔連接,脫輕精餾塔塔頂通過二氯二氫硅輸送泵與混合器連接,高低沸處理精餾塔塔釜與四氯化硅提純塔連接,四氯化硅提純塔塔頂通過四氯化硅輸送泵與混合器連接,混合器與反歧化裝置連接,反歧化裝置與廢液儲罐連接。本實用新型能夠對多晶硅生產的廢液中的二氯二氫硅循環回收轉化,有效減少由于廢液外排而造成的價值損失,提高了物質的回收利用率,降低廢液處理的危險性,本實用新型能量消耗少,設備數量少,制造成本低。
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            “用于多晶硅生產中含二氯二氫硅廢液的回收利用裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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