本發明公開了一種硅片線切割廢砂漿中去除硅和二氧化硅裝置,包括攪拌機、帶式過濾機一、帶式過濾機二、水洗池以及反應池,所述攪拌機與帶式過濾機一的入口相連接,帶式過濾機的上出口與水洗池相連接,水洗池底部與反應池相連接,反應池出口與帶式過濾機二的入口相連接,所述反應池中設有攪拌裝置,工作時投加NaOH。本發明裝置采用堿洗法去除廢砂漿中硅和二氧化硅,使廢砂漿固體物料中的硅和二氧化硅與堿反應,生成可溶性硅酸鹽從物料中除去,以得到高純度的碳化硅。
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