本實用新型涉及一種硅烷類合成尾氣回收裝置,其包括進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器以及進壓縮尾氣緩沖罐;其中,所述進氣緩沖罐、合成爐、第一冷凝器、尾氣緩沖罐、隔膜壓縮機、第二冷凝器、進壓縮尾氣緩沖罐和合成爐依次通過管道連接;所述進氣緩沖罐和合成爐之間的管道上設有一自動調節閥。本實用新型的硅烷類合成尾氣回收裝置具有結構簡單、成本低、穩定可靠且不會產生新的廢水等諸多優點。
聲明:
“硅烷類合成尾氣回收裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)