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            > 高轉換效率SE-PERC太陽能電池的制備方法

            高轉換效率SE-PERC太陽能電池的制備方法

            965   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 02:57:48
            本發明公開了一種高轉換效率SE?PERC太陽能電池的制備方法,涉及太陽能電池技術領域,包括以下制備步驟:1)制絨2);磷擴散;3)激光重摻雜;4)氧化;5)去PSG;6)堿蝕刻拋光:將硅片背面進行堿蝕刻拋光;7)去除硅片正面的硅磷玻璃;8)退火;9)在硅片表面鍍雙面氧化鋁鈍化膜;10)正面沉積減反射膜;11)背面沉積鈍化膜;12)背面激光開槽;13)絲網印刷;14)燒結;本發明使用的是堿蝕刻技術,相對于酸蝕刻,可以降低刻蝕酸使用量,減少酸廢水成本處理,有利于環保,且在激光重摻雜后、去PSG前增加了一到氧化工序,可以保證PN結不會受損傷,也可以對硅片有良好的鈍化效果,對轉換效率有明顯提升。
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