本公開的復合基板具備:由鉭酸鋰晶體構成且歐拉角為(0、α、γ)的第1基板10;以及由與所述第1基板10接合的硅單晶構成且歐拉角為(?45、?54.7、β)的第2基板20,α為?40°~?60°或120°~140°,γ為0°或180°,并且滿足以下情況的任一者。(1)為β=γ±20°以內以及其等效的取向,(2)γ+160°≤β≤γ+200°。
聲明:
“復合基板以及使用其的彈性波元件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)