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            > 單晶硅生長分區式不間斷穩定供電技術

            單晶硅生長分區式不間斷穩定供電技術

            1095   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 00:26:04
            本發明提供一種提拉法單晶硅生長分區式不間斷穩定供電技術。市電與單晶生長爐完全斷開,只通過本發明供電技術供電。硅單晶生長爐用電分成直流和交流兩個區域,直流區域為加熱器和控制系統,交流區域為爐體冷卻、晶體旋轉、坩堝旋轉等輔助系統。本發明主體分成四個部分,第一部分為市電及備用電源輸入、整流穩定及充電部分,且通過升壓將電壓提高12%;第二部分為電池組部分,采用鋰離子電池做為長效型電池存儲單元;第三部分為直流輸出部分,是主功率輸出部分,具備電壓和電流的雙重供電調節能力,分為多級體系,為加熱器和控制系統供電;第四部分為交流輸出部分,采用逆變器輸出,為冷卻水等輔助系統供電,穩定性高,電壓及頻率波動小。
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