本發明公開了一種氧化鎳電致變色薄膜及其制備方法與應用。所述制備方法包括:以共摻雜的MxTyNizO為靶材(其中,M為鋰、鈉、鉀、銣、銫中的至少一種,T為鋁、硅、鋯中的至少一種),采用磁控濺射在透明導電基體表面沉積形成薄膜,接著,在空氣條件下進行快速熱退火處理,獲得共摻雜氧化鎳電致變色薄膜,該薄膜具有較高的氧化鎳(111)擇優取向生長以及有均勻分布針孔的光滑緊實的結構,有助于提升薄膜的電致變色響應速度、褪色態透過率、光學調制幅度、電荷容量以及循環穩定性。
聲明:
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