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            > 固態反射型體聲波諧振器及其制備方法

            固態反射型體聲波諧振器及其制備方法

            966   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 00:18:35
            本發明提供一種固態反射型體聲波諧振器的制備方法,包括如下步驟:取經過離子注入的壓電材料,并在所述壓電材料的注入面下方和/或所述襯底上方生長反射層,然后取襯底,將所述襯底與所述壓電材料鍵合;將得到的鍵合后的中間產物進行熱處理,使所述壓電材料的薄膜剝離,再在所述壓電材料的剝離后的一側生長上電極,即得。本發明所述的固態反射型體聲波諧振器的制備方法,使用晶圓鍵合轉移技術制備高質量單晶鈮酸鋰薄膜,結合反射層結構能夠制備結構強度高且性能優異的諧振器。
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