一種微機電系統技術領域的用于芯片實驗室的聲表面波微流體驅動器及其制造方法。本發明驅動器包括:基底、叉指換能器和微流體溝道,基底是128°Y-X的鈮酸鋰單晶體,其上是相互交叉的叉指電極形成的IDT,微流體溝道與基底結合,本發明采用浮動電極型單向換能器結構設計來實現微流體的單方向驅動。方法步驟:①浮動電極型單向換能器的加工;②微流體溝道的微加工;③基底與微流體溝道的結合。本發明整個加工過程完全可以通過基于半導體材料微制造方法來制作,由于其本身無活動微部件,對流體介質無損傷等特點,使其具有工作可靠、穩定、壽命長等優點。
聲明:
“用于芯片實驗室的聲表面波微流體驅動器及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)