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            > 片上高品質薄膜微光學結構的制備方法

            片上高品質薄膜微光學結構的制備方法

            864   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 00:06:25
            一種片上高品質薄膜微光學器件的制備方法,包括在薄膜表面鍍金屬層、飛秒激光選擇性燒蝕金屬膜、化學機械拋光以及化學腐蝕等步驟。本發明方法制備的片上微光學器件具有極高的表面光潔度,極低的光學損耗。該方法適用于各種片上薄膜(包含但不限于鈮酸鋰單晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金剛石薄膜等)上制備高品質的微光學結構(包含但不限于微盤腔、微環腔、光波導及其耦合器件)。
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