本發明提供一種成膜裝置。其防止形成電子注入層的有機EL元件的金屬層的劣化。成膜裝置PM1具有:處理容器(100),其于內部在基板上實施所需的處理;蒸鍍源(200)(第一蒸鍍源),其收納有機材料,將被收納的有機材料加熱并使其氣化;第一噴出機構(120a)~(120f),其內置于處理容器(100)并與蒸鍍源(200)連結,將在蒸鍍源(200)被氣化的有機材料排向處理容器內的基板G;氣化器(300)(第二蒸鍍源),其收納鋰等堿金屬材料,將被收納的堿金屬材料加熱并使其氣化;第二噴出機構(130),其內置于處理容器(100)并與氣化器(300)連結,將在氣化器(300)被氣化的堿金屬材料排向處理容器內的基板G。
聲明:
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