本發明公開了一種獲取高品質薄膜樣品X射線吸收譜的方法,在薄膜樣品的測量過程中,采用干式膠片曝光其單晶襯底所致衍射斑點后,通過鉛皮遮蔽曝光點,阻止襯底所致的衍射信號進入探測器,從而得到高品質薄膜樣品X射線吸收譜。這種干式膠片由碳,氮,氧及微量的鋰元素構成,有效原子序數在6-8之間,膠片厚度約為100-200微米,不會對硬X射線吸收譜測量帶來嚴重背底,特別是還可以和探測器中的濾光片集成,同時濾除由于入射光引起的散射效應和薄膜樣品基底導致的衍射效應,從而,提供一種簡便有效的途徑,獲得薄膜樣品的高品質X射線吸收光譜。
聲明:
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