一種可無線訪問的聲表面波力敏傳感器,在壓電基片上利用聲表面波延遲線制作,主要用于將其用來測量特殊場所的力學量,如壓力、加速度等。屬于聲表面波技術應用領域。采用鉭酸鋰LiTaO3單晶材料,叉指換能器(Interdigital Transducer縮寫IDT)和反射器的布局采用了并聯式結構,3個聲波傳播通道,采用不同大小的反射器聲孔徑。傳感器的靈敏度為298°/N。本發明的有益效果;可無線訪問的聲表面波力敏傳感器可以使傳感器無源化并進行無線測量。由于無線測量系統以電磁波作能量激勵傳感器,獲得測量信息,故該傳感器可以方便地用于旋轉部件的應力、扭矩等檢測,及其他普通傳感器所無法應用的特殊領域。
聲明:
“可無線訪問的聲表面波力敏傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)