本發明提供一種高效散熱結構的集成電光波導調制器及其制備方法,該發明采用了一種高效散熱結構,利用金剛石作為鈮酸鋰襯底的散熱材料,并采用液體毛細鍵合工藝實現鈮酸鋰襯底與金剛石薄片之間的良好接觸,不會引入熱阻和光學損耗,利用金剛石的高熱導率特性實現對電光波導調制器內部熱量的疏散,實現調制器內部熱場的均勻分布,本發明的調制器具有結構簡單、工藝容易實現、成本低等優點,可廣泛應用于激光通信、光纖傳感和光信號處理等領域。
聲明:
“高效散熱結構的集成光電波導調制器及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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