本發明提供了一種基于多材料體系的光電單片集成系統,該系統磷化銦?硅激光器、硅無源光子器件、氮化硅無源光子器件、氮化硅?鈮酸鋰電光調制器、鍺?硅探測器和電子電路集成在同一襯底上,用于減少了光電系統的尺寸,減少電、光互聯距離,從而極大的減少寄生參數對集成系統的不利的影響;避免了光路模塊和電路模塊間的封裝,降低了封裝成本。發揮鈮酸鋰材料優異的電光性能、氮化硅材料低損耗、低偏振敏感度、高工藝容忍度與硅材料高折射率的優勢,實現性能優異的單片光電集成系統。
聲明:
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