本發明涉及新型鈦絡合物,其具有優良的氣化特征和熱穩定性并可以作為通過CVD、ALD或其類似法形成含鈦薄膜中的原料;用于制備絡合物的方法;使用絡合物形成含鈦薄膜;用于形成膜的方法。根據本發明,由通式(1)表示的鈦絡合物是通過將通式(2)表示的二亞胺與金屬鋰反應,然后與由通式(3)表示的四酰胺絡合物反應并通過使用鈦絡合物作為原料形成含鈦薄膜(其中R1和R4各自獨立地是1-6個碳原子的烷基或類似物;R2和R3各自獨立地為氫、1-3個碳原子的烷基或類似物而R5和R6各自獨立地為1-4個碳原子的烷基或類似物)。
聲明:
“鈦絡合物、其制備方法,含鈦薄膜及其形成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)