本發明涉及聲波共振器、濾波器以及復用器。聲波共振器包括:壓電基板,該壓電基板是鉭酸鋰基板或鈮酸鋰基板且具有20μm或更小的厚度;支撐基板,該支撐基板具有與壓電基板的下表面結合的上表面,并且是主要由二氧化硅組成的玻璃基板;以及多個電極指,該多個電極指位于壓電基板的上表面上,激勵聲波,并且包括主要由Cr、Mo以及W中的至少一者組成的金屬膜。
聲明:
“聲波共振器、濾波器以及復用器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)