本實用新型公開了一種偏振無關的LNOI端面耦合結構,包括襯底、設置于襯底上的緩沖層和設置于緩沖層上的鈮酸鋰波導,鈮酸鋰波導由第一輸入區、第一錐形區和第一輸出區三部分組成,其中第一輸入區和第一輸出區寬度保持不變,第一錐形區采用反向錐形結構;在緩沖層上沉積外包層波導覆蓋鈮酸鋰波導,外包層波導結構由第二輸入區、第二錐形區和第二輸出區三部分組成,其中第二輸入區和第二輸出區寬度保持不變,第二錐形區采用正向錐形結構。本實用新型可實現光纖與LNOI芯片之間幾乎偏振無關的高效耦合。
聲明:
“偏振無關的LNOI端面耦合結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)