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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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> 薄膜材料的剝離方法

薄膜材料的剝離方法

1072 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 23:16:36

一種工藝過程，用來制作單晶鈮酸鋰薄膜或單晶鉭酸鋰薄膜材料。在進行晶片鍵合后，利用離子注入造成損傷層的晶格強度降低，以及二氧化硅層與鈮酸鋰(鉭酸鋰)晶體熱膨脹系數的差別，選擇合適的熱處理過程，在晶片組內部形成應力，從而將薄膜剝離。采用此工藝過程可大大降低離子注入劑量，從而降低生產成本，提高薄膜質量。

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“薄膜材料的剝離方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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2 磷酸(錳)鐵鋰材料的發展及動力電

下載:129

3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方

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4 廢舊動力電池磷酸鐵鋰材料再資源

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5 磷酸鐵鋰的產業化與回收前景分析

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