一種聲波器件,該聲波器件包括:Y?切割X?傳播鉭酸鋰基板,所述Y?切割X?傳播鉭酸鋰基板具有20°或更大且48°或更小的切割角;以及格柵電極,所述格柵電極由層疊在基板上的一個或更多個金屬膜組成,并且激發聲波,其中,當所述一個或更多個金屬膜中的各個金屬膜的密度由ρi表示,各個金屬膜的泊松比由Pi表示,各個金屬膜的膜厚度由hi表示,Cu的密度由ρ0表示,Cu的泊松比由P0表示,并且節距由λ表示時,對于所述一個或更多個金屬膜,各個金屬膜的“(hi/λ)×(ρi/ρ0)×(Pi/P0)”的總值大于0.08。
聲明:
“聲波器件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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