將由具有相對的2個主面的厚50μm、寬0.5m、長2mm的長方形的鈮酸鋰構成的壓電基板2a、2b的主面之間以極化軸的方向成為相互相反的方向進行接合,構成壓電元件2。將由鈮酸鋰構成的支持體4a、4b與壓電元件2的一端直接接合。在壓電元件2的相對的2個主面和支持體4a、4b上連續地形成由厚度0.2μm的鉻-金構成的電極3a、3b,構成懸臂梁結構的雙壓電晶片式機-電變換元件1。從而,構成本發明的加速度傳感器。
聲明:
“加速度傳感器,其制造方法和用該傳感器的沖擊檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)