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            > 壓電性材料基板與支撐基板的接合體

            壓電性材料基板與支撐基板的接合體

            959   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 23:08:14
            本發明在支撐基板與由選自由鈮酸鋰等構成的組中的材質形成的壓電性材料基板的接合體中,使接合體的接合強度提高。接合體7、7A具備:支撐基板4;壓電性材料基板1、1A,它們由選自由鈮酸鋰、鉭酸鋰以及鈮酸鋰-鉭酸鋰構成的組中的材質形成;以及非晶質層5,其存在于支撐基板4與壓電性材料基板1、1A之間。非晶質層5包含選自由鈮和鉭構成的組中的一種以上金屬原子、構成支撐基板的原子以及氧原子。非晶質層5中的所述金屬原子的濃度高于氧原子的濃度,且為20~65原子%。
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