本實用新型公開了一種用于磷酸鐵鋰基于CVD工藝的加工設備,涉及CVD工藝加工設備領域,針對現有的加工設備存在的密封性差,極易混入空氣,影響產品質量,存在CVD氣體泄漏風險,存在安全隱患,無法進行CVD生產的問題,現提出如下方案,其包括入口置換室,所述入口置換室側壁安裝有輥道窯體結構,所述輥道窯體結構包括升溫箱、恒溫箱、冷卻箱、CVD氣體打入管、冷卻水噴頭、輥道傳送帶和電加熱器,所述輥道窯體結構遠離入口置換室的一側安裝有出口置換室,所述輥道窯體結構側壁安裝有固定結構。本實用新型結構新穎,且密封效果好,密封持久性強,生產安全可靠,節約使用成本,完成CVD包覆工藝,避免CVD包覆死角,優化CVD包覆效果。
聲明:
“用于磷酸鐵鋰基于CVD工藝的加工設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)