本發明提供了一種硫化鉬/鈮酸鋰復合型光收發器件及制備方法,包括單晶LiNbO3,形成于單晶LiNbO3表面的層狀MoS2層,與MoS2層部分重疊的p型材料層,以及電極,所述電極放置于單晶LiNbO3,MoS2層、p型材料以及MoS2層與p型材料重疊部分的上方或者包括p型硅基襯底,HfO2層,MoS2二維材料層,LiNbO3晶態薄膜與電極,所述HfO2層部分覆蓋硅基襯底,所述MoS2二維材料層與所述HfO2層部分重疊,所述LiNbO3晶態薄膜設置于MoS2二維材料層和HfO2層重疊部分上。本發明采用LiNbO3來增強MoS2二維材料的光電性能,可以降低工藝成本;相比傳統的調制器,用MoS2/LiNbO3復合型光收發器插損降低,對硅的依賴性降低,無需控制硅成分嚴格控制,只要通過異質結堆疊步驟,可以獲得低功耗、小體積的光收發器。
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