本實用新型公開了一種鉭酸鋰晶體基片的黑化處理裝置,包括熱處理爐、電控箱、支撐座,所述支撐座內設置有還原氣體存儲罐,所述還原氣體存儲罐一端設置有進氣管,所述還原氣體存儲罐另外一端設置有出氣管,所述進氣管外側設置有調速閥,所述進氣管一端設置有所述熱處理爐,所述熱處理爐上方設置有真空泵,所述熱處理爐一端設置有爐門,所述熱處理爐另外一端設置有所述出氣管,所述熱處理爐內部設置有壓強傳感器,所述壓強傳感器一側設置有溫度檢測器,所述溫度檢測器下方設置有坩堝,所述坩堝內設置有金屬片。有益效果在于:本實用新型結構簡單,操作方便,能夠自動調節保持爐內溫度,控制精度高,還原氣體循環使用,節約了成本。
聲明:
“鉭酸鋰晶體基片的黑化處理裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)