本發明提供一種能夠對大容量鋰二次電池提供合適的電極的硅膜及其簡便的制造方法。一種硅膜,其具有柱狀集合體,所述柱狀集合體是由Si或Si化合物構成的柱狀結構體的集合體。上述硅膜的柱狀結構體的直徑為10~100nm,膜厚為0.2~100μm。一種硅膜的制造方法,其是使用由Si或Si化合物構成的蒸鍍源在基板上蒸鍍硅膜的硅膜的制造方法,蒸鍍源的溫度為1700K以上,基板溫度比蒸鍍源的溫度低,并且蒸鍍源的溫度與基板溫度之差為700K以上。上述硅膜的制造方法,其中,蒸鍍源與基板之間的距離(D)比從基板的垂直方向所看到的基板的最小徑(P)小。一種具有上述硅膜的電極。一種具有上述電極作為負極的鋰二次電池。
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