本發明提供一種鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜的制備方法,包括下述步驟:(1)選用作為薄膜電極集流體的金屬箔作為磁控濺射的基底,并進行基底清洗;(2)調節濺射室氣壓至1.0×10-3Pa或以上,然后通入惰性氣體并調節氣壓在0.1~10Pa范圍;(3)磁控濺射制備鋁錫合金薄膜,需調節濺射功率在10W~5kW范圍,濺射類型為直流磁控濺射或射頻磁控濺射,濺射沉積時間在10~60分鐘范圍。由上述方法制備的鋰離子電池負極用鋁錫合金薄膜由固溶體合金材料鋁錫合金構成,所述鋁錫合金中錫的含量為25~75%,其余為鋁。本發明操作工藝簡單,成本低,效率高,無副產物;制備出的薄膜電極材料晶粒均勻細小,結晶度和力學性能良好。
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